干式螺桿真空泵

干式螺桿真空泵，是利用一對(duì)螺桿，在泵殼中作同步高速反向旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的吸氣和排氣作用的抽氣設(shè)備，兩螺桿經(jīng)精細(xì)動(dòng)平衡校正，由軸承支撐，安裝在泵殼中，螺桿與螺桿之間都有一定的間隙，因此泵工作時(shí)，相互之間無(wú)磨擦，運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)，噪音低，工作腔無(wú)需潤(rùn)滑油，因此，干式螺桿泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場(chǎng)合，極限真空更高，消耗功率更低，具有節(jié)能，免維修等優(yōu)點(diǎn)。它是油封式/水環(huán)式/噴射式真空泵的更新?lián)Q代產(chǎn)品。

螺桿泵應(yīng)用

1)低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中;

2)半導(dǎo)體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒;

3)除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝，不希望微?；烊氡糜椭校Ｍ⒘Ｅ懦霰猛?，則用一定型式的干式機(jī)械真空泵可以滿足要求;

4)在化學(xué)工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止有機(jī)溶劑造成污染，適合用干式真空泵;

5)用做一般無(wú)油清潔真空系統(tǒng)的前級(jí)泵，以防止油污染。

干式螺桿真空泵應(yīng)用案例圖片_溶劑回收系統(tǒng)圖

我國(guó)螺桿泵發(fā)展現(xiàn)狀

真空泵是一個(gè)量大面廣的產(chǎn)品，產(chǎn)量很大，產(chǎn)值不高，但它確實(shí)是一個(gè)直接影響到真空成套設(shè)備性能質(zhì)量的必不可少的基礎(chǔ)產(chǎn)品。目前國(guó)外制藥精細(xì)化工行業(yè)干式螺桿真空泵占全部真空泵的60%左右，目前國(guó)內(nèi)在此行業(yè)只占到10%-20%，而且隨著環(huán)保形勢(shì)的嚴(yán)峻化，這一比例還在不斷上升。通過(guò)對(duì)全球真空泵市場(chǎng)的分析我們可以看出，各類真空泵的市場(chǎng)及應(yīng)用領(lǐng)域都在不斷變化和發(fā)展。我國(guó)真空泵制造業(yè)有著悠久的歷史和雄厚的基礎(chǔ)，國(guó)產(chǎn)真空泵已經(jīng)在各個(gè)不同領(lǐng)域得到應(yīng)用并經(jīng)過(guò)驗(yàn)證有些泵還出口國(guó)外得到國(guó)外用戶的認(rèn)可并受到好評(píng)應(yīng)該說(shuō)我國(guó)真空泵制造業(yè)在國(guó)內(nèi)外市場(chǎng)仍然有著巨大的發(fā)展空間。

液環(huán)泵

雖然液環(huán)泵屬于粗真空泵，但在我國(guó)的石油、化工、電力、輕紡、造紙、醫(yī)藥等領(lǐng)域仍然有著很大的市場(chǎng)。在國(guó)外液環(huán)泵的銷售額占全部真空泵市場(chǎng)的14%，僅次于干泵。由于液環(huán)泵大部分是鑄件加工要求也不高屬勞動(dòng)密集型產(chǎn)品所以國(guó)產(chǎn)液環(huán)泵在價(jià)格上有競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)。

干泵

國(guó)外干泵市場(chǎng)的不斷增長(zhǎng)，其主要驅(qū)動(dòng)來(lái)自于半導(dǎo)體行業(yè)、化學(xué)工業(yè)、制藥、薄膜產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展。在日本半導(dǎo)體行業(yè)已全部用干式真空泵代替油封式機(jī)械泵，歐美半導(dǎo)體行業(yè)45%以上用干式真空泵代替了油封式機(jī)械泵，大大提高了產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。據(jù)統(tǒng)計(jì)目前國(guó)產(chǎn)干式螺桿真空泵的應(yīng)用占比大約在10%-20%，隨著我國(guó)環(huán)保形勢(shì)日趨嚴(yán)峻，這一比例將在新建項(xiàng)目中將不斷擴(kuò)大。從沃爾姆干式螺桿真空泵的每年銷售數(shù)量上看，一直處于增長(zhǎng)上升中。

干式真空泵優(yōu)點(diǎn)

除上圖中所列舉的優(yōu)勢(shì)外，螺桿真空泵工作過(guò)程不產(chǎn)生污水，更加符合國(guó)家環(huán)保需求，同時(shí)螺桿泵受環(huán)境和水溫影響較小，相比于水環(huán)真空泵，螺桿真空泵的缺點(diǎn)是精度高，加工難度大，對(duì)于加工設(shè)備的精度需求更加依賴。

干式螺桿泵與液環(huán)泵性能對(duì)比●螺桿泵與液環(huán)泵的經(jīng)濟(jì)性對(duì)比

除上圖中所列舉的優(yōu)勢(shì)外，螺桿真空泵工作過(guò)程不產(chǎn)生污水，更加符合國(guó)家環(huán)保需求，同時(shí)螺桿泵受環(huán)境和水溫影響較小，相比于水環(huán)真空泵，螺桿真空泵的缺點(diǎn)是精度高，加工難度大，對(duì)于加工設(shè)備的精度需求更加依賴。